Vakuumbereich	Druck in hPa (mbar)	Moleküle pro cm3	mittlere freie Weglänge
Grobvakuum	300 - 1	10E19 - 10E16	0,01 - 100 micrometer
Feinvakuum	1 - 10E-3	10E16 - 10E13	0.1 - 100 millimeter
HV Hochvakuum	10E-3 - 10E-7	10E13 - 10E9	100 mm - 1 km
UHV Ultrahochvakuum	10E-7 - 10E-12	10E9 - 10E4	1 - 10E5 km
XHV extrem hohes Vakuum	<10E-12	< 10E4	> 10E5 km

Während ein vollständig materiefreier Raum nicht herstellbar ist, können technische Vakua in verschiedenen Qualitäten hergestellt werden. Man unterscheidet in der Technik unterschiedliche Qualitäten des erzielten Vakuum nach der Menge der verbleibenden Materie (gemessen durch den Druck in Pa = Pascal oder mbar = Millibar).